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深圳市中圖儀器股份有限公司

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白光干涉顯微測量儀

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:SuperView W3

品       牌:中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2024-08-10 07:17:14瀏覽次數(shù):785次

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羅健

經(jīng)理
掃一掃,微信聯(lián)系
產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制
適用行業(yè) 電磁機(jī)械
白光干涉顯微測量儀,非接觸、三維白光掃描干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

白光干涉顯微測量儀

以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

產(chǎn)品功能

  1)樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;

  2)自動測量功能:自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能;

  3)編程測量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動測量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵測量;

  4)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

  5)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

  6)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析;

產(chǎn)品功能

  1)同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量,并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;

  2)具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值;

  3)具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實(shí)現(xiàn)高精度測量;

白光干涉顯微測量儀

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